在精密零件加工過程中，為了提高氣浮導軌的運動性能，精密零件加工過程可以采用以下三種方法。

1、提高導軌在承載方向上的剛度：導軌結構設計上采用閉式導軌，這比單面可提高剛度2倍；減小氣浮間隙ん。并增大力封閉，氣源需穩壓供氣、清潔供氣，減小可能發生的振蕩因素；在供氣回路中要設計載荷補償機構及自動調壓裝置使ん。變化很小，如圖3-10(a)所示采用DEA公司的10TA型壓力彈簧和R滾輪控制ん。，或者合理布局氣墊讓其自動平衡調整，對高精度測量機，氣浮的精度（即波動值，ん。變動值）應在0.001-0.002mm以內。

2、提高導軌運動時的阻尼力：氣墊的孔越多阻尼力越大，剛性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊，用大面積的微孔代替小孔節流氣墊，阻尼力會更大。在精密零件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤滑，由于導軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力。

3、采用半氣浮導軌的結構形式：圖3-10（b）所示坐標機為氣浮導軌和機械導軌相結合的形式，利用了兩種導軌運動特性的優點，不僅提高了抗端動的能力，又保持了氣浮導軌間隙ん。恒定，且增加了導軌運動的阻尼力，從而提高了導軌的運動性能。